設備耐震安全檢核

Seismic Assessments and Certification
for the Tool Safety

簡介

    設備在設計上應該可以控制因為地震事件造成設備與廠務設施位移、翻倒或是化學物質的洩漏(包括液體的濺灑)而肇致人員受傷、不良的環境影響以及廠房設備的損害等風險。依據SEMI S2標準，對於內裝危害性生產物質(HPMs)的設備，在設計上應該能承受其重量之94%的水平地震力(KH)與15%的垂直地震力(KV)，水平地震力應該由其X，Y軸向獨立計算而得，或是沿著對錨定點產生最大地震力的軸向計算之。但國內建築技術規則對垂直力的要求比SEMI S2要求更嚴格，一般工址是水平地震力的二分之一；近斷層區域廠址的垂直地震力更高達其三分之二。

    依照此地震力需求，設計防止設備滑動與翻覆之錨錠裝置(角鋼與螺栓)，評估流程
(1).依據重心位置與設備尺寸，計算設備各個支承點之抗滑移水平剪力需求V，以及抗傾覆垂直拉力需求T。
(2).針對任一角鋼支承基座，計算各斷面之剪力與彎矩分布，進而可依據斷面與開孔尺寸進行角鋼之容許拉應力Ta強度檢核、容許剪應力Va強度檢核以及容許彎曲應力強度檢核。
(3).針對角鋼與設備接合之螺栓以及角鋼與樓版接合之錨錠螺栓進行拉力與剪力容量檢核。

服務項目

    1.設備防震檢核

    2.設備防震設計輔導