排氣系統防災技術

Exhaust System Safety Technology

簡介

    Factory Mutual (FM)統計1977至1997年間美國無塵室災例中，通風排氣系統(包含Fume Exhaust, HVAC, Gas Cabinet, Local Scrubber)事故佔80%以上，日本半導體協會(JSIA)統計1988至1998年間日本半導體廠災例，通風排氣系統發生事故次數排名第二。

    通風排氣系統在建廠二至三年後，管路開始出現老化、腐蝕、粉塵累積的現象，加上產能不斷地擴充，常有因製程機台風量不足所引發的安全衛生與生產良率下降問題，如管內易燃性氣體或Local Scrubber起火意外的發生，造成工廠火災爆炸風險的機率與嚴重度增加。
 

    歸究其高風險的原因有下列幾點：管路系統龐大且複雜(Toxic, Acid, Alkaline, Combustible, Solvent, General) ；管內氣體具可(自)燃性、高腐蝕性、高含塵量 、高溫；尾氣處理單元效率不佳；粉塵阻塞或起火；部分製程對排氣風量相當敏感；無法確實掌握主風管之風量，以致機台擴充時無法提供其所需之風量。因此，通風排氣系統的安全就顯得十分重要。

服務項目

1. 製程機台有害氣體擴散防制技術
2. 排氣系統安全設計與節能技術
3. 排氣系統監控診斷應變通報系統