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排氣系統防災技術 Exhaust System Safety Technology(2016/04/06)

排氣系統防災技術

Exhaust System Safety Technology

簡介

    Factory Mutual (FM)統計1977至1997年間美國無塵室災例中,通風排氣系統(包含Fume Exhaust, HVAC, Gas Cabinet, Local Scrubber)事故佔80%以上,日本半導體協會(JSIA)統計1988至1998年間日本半導體廠災例,通風排氣系統發生事故次數排名第二。


    通風排氣系統在建廠二至三年後,管路開始出現老化、腐蝕、粉塵累積的現象,加上產能不斷地擴充,常有因製程機台風量不足所引發的安全衛生與生產良率下降問題,如管內易燃性氣體或Local Scrubber起火意外的發生,造成工廠火災爆炸風險的機率與嚴重度增加。
 

    歸究其高風險的原因有下列幾點:管路系統龐大且複雜(Toxic, Acid, Alkaline, Combustible, Solvent, General) ;管內氣體具可(自)燃性、高腐蝕性、高含塵量 、高溫;尾氣處理單元效率不佳;粉塵阻塞或起火;部分製程對排氣風量相當敏感;無法確實掌握主風管之風量,以致機台擴充時無法提供其所需之風量。因此,通風排氣系統的安全就顯得十分重要。

服務項目

  1. 製程機台有害氣體擴散防制技術
  2. 排氣系統安全設計與節能技術
  3. 排氣系統監控診斷應變通報系統