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監測與量測服務 Monitoring and Measurement Services(2016/04/06)
監測與量測服務
Monitoring and Measurement Services
服務項目
- 空氣分子污染物(AMC)量測及診斷
參考SEMI F21潔淨室環境空氣品質量測及診斷,進行潔淨室未知氣體、
排放廢水異味量測及診斷潔淨室品質監測、微污染成因探討、無機酸鹼及有機氣體監測。
- Local Scrubber 去除率量測及診斷
參考SEMI S29 氟化溫室氣体排放與減量及SEMI S6 半導體製造設備的排氣通風安全衛生。
環保規範,進行Local Scrubber去除率量測。
- 熱影像量測及診斷
廠務電器、製程機台溫升異常量測及診斷。
- 非游離輻射量測及診斷
極低頻(50/60HZ)、中頻(900/1800MHZ)量測及診斷。
- 金屬、非金屬及流體靜電量測及診斷
參考NFPA 77 、IEC 60079-32進行量測及診斷鑑認火災風險及工程控制。
- 洩漏源量測及診斷
超音波量測及診斷。
- 設備安全量測及診斷
參考SEMI S2 半導體設備安全衛生環保規範,進行漏電流量測、接地連續性量測、
電磁場量測及噪音量測。
- 節能量測及診斷
參考SEMI S23半導體製造設備之能源、電力、原料節約規範,進行超音波空氣流量非破壞性
量測、電力耗能掛表量測。

