廠務與製程耗能盤查與設計改善

 Energy Consumption Inventory and
Engineering Retrofit for Facilities and Processes  

簡介

SEMI於2005年5月公告『SEMI S23半導體製造設備之能源、電力、廠務節約基準』，基準內提供耗能關鍵自變數及基線用以比對廠務系統耗能差異。透過自變數差異分析，可以將耗能廠務供應能量排序，鑑認出主要耗能項目以及提供進一步設計改善。

1. 廠務各系統能量基線盤查 
2. 廠務各系統耗能分析與耗能改善排序
3. 廠務各系統耗能工程改善
4. 製程設備耗能盤查
5. 製程設備耗能耗能工程改善

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