監測與量測服務

Monitoring and Measurement Services

服務項目

1. 空氣分子污染物(AMC)量測及診斷
       參考SEMI F21潔淨室環境空氣品質量測及診斷，進行潔淨室未知氣體、
   排放廢水異味量測及診斷潔淨室品質監測、微污染成因探討、無機酸鹼及有機氣體監測。
    
2. Local Scrubber 去除率量測及診斷
       參考SEMI S29 氟化溫室氣体排放與減量及SEMI S6 半導體製造設備的排氣通風安全衛生。
   環保規範，進行Local Scrubber去除率量測。
    
3. 熱影像量測及診斷
       廠務電器、製程機台溫升異常量測及診斷。
    
4. 非游離輻射量測及診斷
       極低頻(50/60HZ)、中頻(900/1800MHZ)量測及診斷。
    
5. 金屬、非金屬及流體靜電量測及診斷
       參考NFPA 77 、IEC 60079-32進行量測及診斷鑑認火災風險及工程控制。
    
6. 洩漏源量測及診斷
       超音波量測及診斷。
    
7. 設備安全量測及診斷
       參考SEMI S2 半導體設備安全衛生環保規範，進行漏電流量測、接地連續性量測、
   電磁場量測及噪音量測。
    
8. 節能量測及診斷
       參考SEMI S23半導體製造設備之能源、電力、原料節約規範，進行超音波空氣流量非破壞性
   量測、電力耗能掛表量測。

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