設備安全與風險評估

Tool Safety and Risk Evaluation  
 

簡介

    1985年美國開始提出SEMI標準，於1989年INTEL採用後逐漸影響全球，1993年後製造商及使用者間達成共識。目前全球新設備多半會在出廠前準備SEMI 安全評估報告，主要內容包含「S2 和 S26 設備安全衛生環保評估」以及「S10 風險評估」。設備安全評估項目包含文件資料、危害警告標示、安全聯鎖、緊急停機、電氣設計、消防安全、製程液體加熱系統、人體工學、危害性能量隔離、機械設計、地震保護、自動化物料傳輸系統、環境考量、排氣通風、化學物質、游離輻射、非游離輻射及電磁場、雷射與音壓位準等19項，涵括設備可能的主要危害。

    本評估可協助設備使用者了解其工廠內既設機台的安全設計，透過設備安全功能查核表評估機台安全狀態，鑑認機台潛在風險，研擬降低風險之行動方案（本質安全、工程控制與管理控制），間接要求供應商為其設備安全負責，以確保使用者於操作、故障排除及維護作業時的安全。
 

1. SEMI S2 和S26設備安全驗證
2. SEMI S10設備風險評估
3. SEMI S2 和S26 In-situ Sign Off

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